DRA120 (High Flow)

UHP VCR High Flow Pressure Reducing Regulators

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  Products Feature.

 

Gas and D/I Water High Flow Regulators(VCR 3/4”, 1”)

DRA120 시리즈는 고 유량의 Cv=5.0 제품이며, 초 고순도 반도체 제조용 특수 가스 라인, Bulk Gas Line, 기타 설비 라인 등에 사용하도록 개발된 UHP VCR Type Pressure Reducing Regulator입니다.

★ 반도체 생산 hook-up 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 BA 15Ra급 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
★ 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택, 사용 할 수 있습니다.
★ 입구 압력은 최대 600psi (42bar), 300psi(21bar), 이고 출구압력은 모델에 따라 5psi (0.3bar) ~ 최대 150psig(10.3bar)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.

※

  Ordering Information.

DRA120 - A 130 T - L
BASIS
SERIES
NUMBER 		BODY MATERIAL &
SURFACE FINISH 		OUTLET
PRESSURE
RANGE 		DIAPHRAGM
MATERIAL 		MAX.
INLET
PRESSURE


DRA120


A = 316L B.A -------------- 15Ra

B = 316L E.P -------------- 10Ra

C = 316L E.P(P.E.P) ------- 5Ra



025 = 25psi(1.7bar)

050 = 50psi(3.4bar)

100 = 100psi(7bar)

130 = 130psi(9.1bar)

150 = 150psi(10.3bar)
 

 

T = Teflon

S = STS 316L

H = Hastelloy-C
L = 300psi(21bar)

S = 600psi(42bar)
P S - 16MS - G2S
SEAT
MATERIAL 		FLOW
CAPACITY 		INLET
OUTLET
PORTS SIZE
                  Type "A" ± 1.0mm 		GAUGE
PORTS
OPTIONS
               Gauge Ports
T = Teflon

P = PCTFE

V = Vespel 		S = Cv 5.0
12MS = 3/4" Male Swivel ---- 000mm
12FS = 3/4" Female Swivel -- 000mm
12ML = 3/4" Male Swivel ---- 000mm
12FL = 3/4" Female Swivel -- 000mm

16MS = 1" Male Swivel ---- 000mm
16FS = 1" Female Swivel -- 000mm
16ML = 1" Male Swivel ---- 000mm
16FL = 1" Female Swivel -- 000mm

12MF = In 3/4" Male
           Out 3/4" Female ----- 000mm
12FM = In 3/4" Female
          Out 3/4" Male ------- 000mm

16MF = In 1" Male
          Out 1" Female ----- 000mm
16FM = In 1" Female
          Out 1" Male ------- 000mm

12TS = 3/4" Tube Stubs ---- 000mm
16TS = 1" Tube Stubs ---- 000mm

G0S = None ------------- 0

G1S = 1/4" H.P.I.C ------- 1

G2S = 1/4" H.P.I.C ------- 2

*Tube(O.D 00mm)


 

  Specification.

 Ports

 DRA120-B130T-LPS-12MS-G0S ----- VCR 3/4"
 DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S ----- VCR 1"

 DRA120-B130T-LPS-12TS-G0S ----- 3/4" Tube Stubs
 DRA120-B130T-LPS-16TS-G0S ----- 1" Tube Stubs

 Design Proof Pressure

 150% maximun rated

 Leak Rate  Certification

 to 2 x 10-8 atm cc/sec Helium available.

 Body Materials

 DRA120-A130T-LPS-16MS-G0S 316L B.A ------ 15Ra
 DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S 316L E.P ------ 10Ra
 DRA120-C130T-LPS-16MS-G0S 316L E.P ------ 5Ra  

 Body Flange

 Stainless steel 316L

 Bonnet Material

 AL2024

 Diaphragm

 DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S ----- Teflon
 DRA120-B130S-LPS-16MS-G0S ----- STS 316L
 DRA120-B130H-LPS-16MS-G0S ----- Hastelloy-C22  

 Main Valve

 Stainless steel 316L

 Valve Spring

 Stainless steel 316L

 Valve Seat

 DRA120-B130T-LTS-16MS-G0S ----- Teflon
 DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S ----- PCTFE
 DRA120-B130T-LVS-16MS-G0S ----- Vespel

 Inlet Pressure  Ranges

 DRA120-B130T-LTS-16MS-G0S ----- 300psi (21bar)
 DRA120-B130T-STS-16MS-G0S ----- 600psi (42bar)  

 Outlet Pressure  Ranges

 DRA120-B025T-LTS-16MS-G0S ----- 25psi (1.7bar)
 DRA120-B050T-LTS-16MS-G0S ----- 50psi (3.4bar)
 DRA120-B100T-LTS-16MS-G0S ----- 100psi (7bar)
 DRA120-B130T-LTS-16MS-G0S ----- 130psi (9.1bar)
 DRA120-B150T-LTS-16MS-G0S ----- 150psi (10.3bar)  

 Operating  Temperature

 -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F)  Standard  

 Flow Capacity

 Cv = 5.0 Standard  

 Optional

 

 Weight

 6.5kg

                          

    권장사항 :


각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.

 


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