UHP Micro Miniature Pressure Regulators(VCR 1/4”)
DRM250 시리즈는
Miniature Pressure Regulators UHP (Ultra High Purity) 압력 조절기로서 Body는 STS 316L or 316L VAR (더블멜트)를 사용하였으며 반도체 제조용 가스설비, 고압 가스라인, Bulk 가스라인, 제약, 연구소 및 실험실 등에 사용할 수 있도록 설계되었습니다. E.P. (Electropolishing) 처리를 함으로써 부식성 가스 사용환경에 더욱 적합한 제품입니다. 최대 압력은 17bar (250psig), 출구압력은 모델에 따라 0.3bar (5psig) ~ 최대 7bar (100psig)까지 사용 가능합니다.
- Miniature Size 반도체 생산 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
- 입구 압력은 최대 17bar (250psig)이고 출구압력은 모델에 따라 0.3bar (5psi) ~ 최대 7bar (100psig)까지 사용할 수 있습니다.
- 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.
※ [DRASTAR Regulators are Oil-free]
드라스타의 모든 레귤레이터는클린 벤치, 헬륨디텍터, 파티클타운터, 초음파 세척기, 초 순수 시스템, 진공 포장기 등을 갖춘 클린룸(Clean Room)에서 CGA 4.1 및 ASTM G-93에 명시된 절차와 규정에 따라 조립, 세척, 검사 및 포장이 이루어지며 그리스 또는 오일 등 유분이 완전히 세정된 제품입니다.
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