Semiconductor(UHP)Drastar Co., Ltd

DRA500 (Springless)

UHP Springless Single Stage Reducing Regulators

Products Feature

UHP Springless Tied Diaphragm Low Pressure(1/4” or 1/2”)

DRA500 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실 등에 적합하도록 개발된 Springless, VCR type Pressure Reducing Regulator입니다.

★ 고유량 제품으로, 1/4" Cv=0.5, 1/2" Cv=0.5 or Cv=1.0 입니다.
★ Body는 STS 316L or 316L VAR(더블멜트) 를 사용하고 전해연마 (E.P.)처리를 해서 부식가스 사용 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
★ Springless 타입: 기존의 스프링 대신에 사용된 “웨이브 스프링 (드라스타 특허 #10-1191514)”은 장기 사용에서 오는 피로로 스프링자체에 발생할 수 있는 이물질 발생을 억제하므로서 초 고순도 및 세정이 요구되는 적용분야에 적합합니다.
★ Tied-diaphragm type으로 DRA500 시리즈는 밸브 시트에 어떤 이물질 발생에도 리크를 방지하고 독성, 발화성, 고부식성 가스 등으로 인한 다이아후렘 파열을 방지함으로서 최상의 안전성을 제공합니다.
★ 다이아후렘과 바디를 Metal to Metal 실링을 하여 리크 방지력을 높였습니다.
★ 표면처리: E.P. 10Ra 또는 5Ra microinch (0.25 or 0.13 micrometer) 등급으로 초 정밀 처리하였습니다.
★ 입구 압력은 3500psig(241bar), 2200psig(151bar) or 600psig(42bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psig (0.3bar)에서 최대 150psig (10.3bar)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험과 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 작업이 이루어집니다.

★ DRA500 series offers high flow with Cv 0.5 1/4" and Cv=0.5 at 1/2”.
★ Inboard Leak Rate to <1 x 10-9 atm cc/sec Helium available.
★ Body is made of 316L or VAR (double melt) Stainless Steel with Electropolish to be applicable for corrosive gases.
★ Diaphragm: STS 316L or Hastelloy.
★ Spring-less type: “wave spring” (DRASTAR patent #10-1191514) used for conventional spring keeps down possible particle generation by the spring itself due to fatigue from long-time use and so it is suitable for applications where ultra high purity and cleaning is needed.
★ Metal to metal diaphragm to body sealing for high leak integrity,
★ E.P. up to 10Ra or 5Ra microinch(0.25 or 0.13 micrometer) to prevent from particle generation.
★ As tied-diaphragm type, DRA500 series offers supreme safety by preventing leaks notwithstanding any particle generation on the valve sheet and protecting the rupture of diaphragm from toxic, pyrophoric, or corrosive gases.
★ Inlet pressures are 3500psig(241bar), 2200psig(151bar) or 600psig(42bar) with outlet pressures from 5psig (0.3bar) up to 150psig (10.3bar).
★ Design proof pressure: 150% of maximum rated
★ All works of welding, assembly, test, and cleaning are done in 100-class& 10-class clean room.
★ Decaying Inlet Characteristic: 1.2 psig /100 psig.

※ 사용 중 가스라인이나 외부의 미세 진동 등으로 인하여 초기 압력 셋팅 값이 미세하게 변동하는 현상을 완전히 해결한 당사 Push and Lock 조절 손잡이 (당사 특허 # 10-1370537)를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 (lock) 압력 셋팅 값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 (unlock) 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.

Ordering Information.

DRA500

025

BASIS
SERIES
NUMBER

BODY
MATERIAL

OUTLET
PRESSURE
RANGE

DIAPHRAGM
MATERIAL

MAX.
INLET
PRESSURE

DRA500

B = 316L E.P ------- 10Ra

C = 316L E.P(P.E.P)-- 5Ra

D = 316L VAR E.P --------- 10Ra

E = 316L VAR E.P(P.E.P) -- 5Ra

025 = 1-25psi
      (.1-1.7bar)

050 = 1-50psi
      (.1-3.5bar)

100 = 1-100psi
       (.1-7bar)

130 = 1-130psi
       (.2-9bar)

150 = 1-150psi
       (.2-10.3bar)

S = STS 316L

H = Hastelloy-C

H = 3500psi (241bar)

S = 2200psi (151bar)

M = 1000psi (70bar)

L = 600psi(42bar)

4MS

G0S

SEAT
MATERIAL

FLOW
CAPACITY

INLET
OUTLET
PORTS SIZE
Type "A" ± 1.0mm

GAUGE
PORTS
OPTIONS
Gauge Ports

P = PCTFE
(600 & 1000psi)

T = Teflon
(600psi)

V = Vespel
(2200psi or 3500psi)

S = Cv 0.5

1/4" Standard

S = Cv 0.5

3/8" Standard

S = Cv 0.5

1/2" Standard

O = Cv 1.0

1/2" Optional

4HP = 1/4" H.P.I.C

4MS = 1/4" Male Swivel ---- 94mm
4FS = 1/4" Female Swivel --- 94mm
4MFL = 1/4" Mail Female Sw.-- 110mm
4FML = 1/4" Femail Male Sw.-- 110mm
4MSS = 1/4" Mail Female Sw.-- 000mm
4FSS = 1/4" Femail Male Sw.-- 000mm

~~8MS = 3/8" Male Swivel ---- 120mm~~
~~8FS = 3/8" Female Swivel -- 120mm~~

2MS = 1/2" Male Swivel ---- 142mm
2FS = 1/2" Female Swivel -- 142mm
2ML = 1/2" Male Swivel ---- 000mm
2FL = 1/2" Female Swivel -- 000mm

4IMF = 1/4" In Male
          Out Female -------- 94mm
4IFM = 1/4" In Female
          Out Male ---------- 94mm

2IMF = 1/2" In Male
          Out Female -------- 142mm
2IFM = 1/2" In Female
          Out Male ---------- 142mm
2IMFL = 1/2" In Male
          Out Female -------- 000mm
2IFML = 1/2" In Female
          Out Male ---------- 000mm

4TS = 1/4" Tube Stubs ---- 94mm
2TS = 1/2" Tube Stubs ---- 120mm

G0S = None -------------- 0

G1S = 1/4" H.P.I.C ------ 1

G2S = 1/4" H.P.I.C ------ 2

~~G2B = 1/4" H.P.I.C ------ 2~~

M1S = 1/4" Male Swivel -- 1

M2S = 1/4" Male Swivel -- 2

~~M2B = 1/4" Male Swivel -- 2~~

F1S = 1/4" Femle Swivel -- 1

F2S = 1/4" Femle Swivel -- 2

~~F2B = 1/4" Femle Swivel -- 2~~

Specification

Ports	DRA500-D100H-xxx-4MS-GxS 1/4" Male DRA500-D100H-xxx-4FS-GxS 1/4" Female DRA500-D100H-xxx-2MS-GxS 1/2" Male DRA500-D100H-xxx-2FS-GxS 1/2" Female
Design Pressure	150% maximun rated
Leak Rate Certification	< 1 x 10 ^-9 atm cc/sec Helium, per ASTM E449
Body Materials	DRA500-B100H-xxx-xxS-GxS 316L E.P ------------------- 10Ra DRA500-C100H-xxx-xxS-GxS 316L E.P(P.E.P) ------------- 5Ra DRA500-D100H-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P --------------- 10Ra DRA500-E100H-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P(P.E.P) --------- 5Ra
Bonnet Material	Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional)
Diaphragm	DRA500-B100S-xxx-xxS-GxS STS 316L DRA500-D100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C
Main Valve	DRA500-B100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C Standard
Valve Spring	-
Valve Seat	DRA500-D100H-xPx-xxH-GxS PCTFE DRA500-D100H-xTx-xxH-GxS Teflon DRA500-D100H-xVx-xxH-GxS Vespel
Inlet Pressure Ranges	DRA500-D100H-Hxx-xxS-GxS 3500psi(241bar) DRA500-D100H-Sxx-xxS-GxS 2200psi(151bar) DRA500-D100H-Mxx-xxS-GxS 1000psi(70bar) DRA500-D100H-Lxx-xxS-GxS 600psi(42bar)
Outlet Pressure Ranges	DRA500-D025H-xxS-xMS-GxS 25psi(1.7bar) DRA500-D050H-xxS-xMS-GxS 50psi(3.4bar) DRA500-D100H-xxS-xMS-GxS 100psi(7bar) DRA500-D130H-xxS-xMS-GxS 130psi(9bar) DRA500-D150H-xxS-xMS-GxS 150psi(10.3bar)
Operating Temperature	PCTFE -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Teflon PFA -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Vespel -40°C ~ +175°C (-40°F ~ +350°F)
Flow Capacity	DRA500-D100H-xxxO-4MS-GxS 1/4" Cv=0.5 DRA500-D100H-xxxS-2MS-GxS 1/2" Cv=0.5

권장사항 :

각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.

[ Unit conversion program ]

	unit	unit conversion
atmosphere	atm
bar	bar
mbar	mbar
kg_f/cm^2	kg_f/cm^2
Pound per Squire Inch	PSI (= lb/in^2)
dyne per square centimeter	dyne/cm^2

Pascal	Pa
Newton per square meter	N/m^2
Hecto Pascal	hPa
Kilo Pascal	kPa
Mega Pascal	MPa

수주(水柱)밀리미터	mm H_2O (= mm Aq)
수주(水柱)인치	in H_2O (= in Aq)
수은주(水銀柱)밀리미터	mm Hg (= Torr)
수은주(水銀柱)인치	in Hg