Semiconductor(UHP)(주)드라스타

DRA120 (High Flow)

UHP VCR High Flow Pressure Reducing Regulators

Instructions

Products Feature.

Gas and D/I Water High Flow Regulators(VCR 3/4”, 1”)

DRA120 시리즈는 고 유량의 Cv=5.0 제품이며, 초 고순도 반도체 제조용 특수 가스 라인, Bulk Gas Line, 기타 설비 라인 등에 사용하도록 개발된 UHP VCR Type Pressure Reducing Regulator입니다.

★ 반도체 생산 hook-up 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 BA 15Ra급 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
★ 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택, 사용 할 수 있습니다.
★ 입구 압력은 최대 600psi (42bar), 300psi(21bar), 이고 출구압력은 모델에 따라 5psi (0.3bar) ~ 최대 150psig(10.3bar)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.

※

Ordering Information.

DRA120

130

BASIS
SERIES
NUMBER

BODY MATERIAL &
SURFACE FINISH

OUTLET
PRESSURE
RANGE

DIAPHRAGM
MATERIAL

MAX.
INLET
PRESSURE

DRA120

A = 316L B.A -------------- 15Ra

B = 316L E.P -------------- 10Ra

C = 316L E.P(P.E.P) ------- 5Ra

025 = 25psi(1.7bar)

050 = 50psi(3.4bar)

100 = 100psi(7bar)

130 = 130psi(9.1bar)

150 = 150psi(10.3bar)

T = Teflon

S = STS 316L

H = Hastelloy-C

L = 300psi(21bar)

S = 600psi(42bar)

16MS

G2S

SEAT MATERIAL	FLOW CAPACITY	INLET OUTLET PORTS SIZE Type "A" ± 1.0mm	GAUGE PORTS OPTIONS Gauge Ports
T = Teflon P = PCTFE V = Vespel	S = Cv 5.0	12MS = 3/4" Male Swivel ---- 000mm 12FS = 3/4" Female Swivel -- 000mm 12ML = 3/4" Male Swivel ---- 000mm 12FL = 3/4" Female Swivel -- 000mm 16MS = 1" Male Swivel ---- 000mm 16FS = 1" Female Swivel -- 000mm 16ML = 1" Male Swivel ---- 000mm 16FL = 1" Female Swivel -- 000mm 12MF = In 3/4" Male Out 3/4" Female ----- 000mm 12FM = In 3/4" Female Out 3/4" Male ------- 000mm 16MF = In 1" Male Out 1" Female ----- 000mm 16FM = In 1" Female Out 1" Male ------- 000mm 12TS = 3/4" Tube Stubs ---- 000mm 16TS = 1" Tube Stubs ---- 000mm	G0S = None ------------- 0 G1S = 1/4" H.P.I.C ------- 1 G2S = 1/4" H.P.I.C ------- 2

*Tube(O.D 00mm)

Specification.

Ports	DRA120-B130T-LPS-12MS-G0S ----- VCR 3/4" DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S ----- VCR 1" DRA120-B130T-LPS-12TS-G0S ----- 3/4" Tube Stubs DRA120-B130T-LPS-16TS-G0S ----- 1" Tube Stubs
Design Proof Pressure	150% maximun rated
Leak Rate Certification	to 2 x 10-8 atm cc/sec Helium available.
Body Materials	DRA120-A130T-LPS-16MS-G0S 316L B.A ------ 15Ra DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S 316L E.P ------ 10Ra DRA120-C130T-LPS-16MS-G0S 316L E.P ------ 5Ra
Body Flange	Stainless steel 316L
Bonnet Material	AL2024
Diaphragm	DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S ----- Teflon DRA120-B130S-LPS-16MS-G0S ----- STS 316L DRA120-B130H-LPS-16MS-G0S ----- Hastelloy-C22
Main Valve	Stainless steel 316L
Valve Spring	Stainless steel 316L
Valve Seat	DRA120-B130T-LTS-16MS-G0S ----- Teflon DRA120-B130T-LPS-16MS-G0S ----- PCTFE DRA120-B130T-LVS-16MS-G0S ----- Vespel
Inlet Pressure Ranges	DRA120-B130T-LTS-16MS-G0S ----- 300psi (21bar) DRA120-B130T-STS-16MS-G0S ----- 600psi (42bar)
Outlet Pressure Ranges	DRA120-B025T-LTS-16MS-G0S ----- 25psi (1.7bar) DRA120-B050T-LTS-16MS-G0S ----- 50psi (3.4bar) DRA120-B100T-LTS-16MS-G0S ----- 100psi (7bar) DRA120-B130T-LTS-16MS-G0S ----- 130psi (9.1bar) DRA120-B150T-LTS-16MS-G0S ----- 150psi (10.3bar)
Operating Temperature	-40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Standard
Flow Capacity	Cv = 5.0 Standard
Optional
Weight	6.5kg

권장사항 :

각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.