Semiconductor(UHP)(주)드라스타

DRA300 (Springless)

UHP VCR Springless Single Stage Pressure Reducing Regulators

Products Feature

UHP Springless Tied Diaphragm Low Pressure(1/4” 3/8” 1/2” 3/4”)

DRA300 시리즈는 초고순도 반도체 제조용 Gas Cabinet, 특수 가스 라인, Valve Manifold Boxes, 기타 연구실 등에 적합하도록 개발된 Springless, VCR type Pressure Reducing Regulator입니다.

★ Springless type: 기존방식의 스프링 대신 웨이브형상의 판 스프링(당사 특허#10-1191514)을 사용하여 장기간 사용시 누적피로로 인한 스프링의 이물질(particle) 발생 원인을 원천적으로 차단하여 초 고순도 및 청정을 요구하는 고객 및 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
★ DRA300 시리즈는 모델에 따라 316L or 316L VIM+VAR(Double melt)를 사용하여 부식가스 사용 환경에 더욱 적합한 제품입니다.
★ 다이아후렘과 Material to Material Sealing이 되어 있고, 이물질 발생을 방지하기 위해 DI water 세정과 표면을 B.A. 25Ra~15Ra, E.P. 10Ra 또는 5Ra microinch등급으로 초 정밀 처리하였습니다.
★ 다이아후렘과 메인밸브를 연결시킨 Tied Type으로 밸브시트에 이물질이 형성되더라도 압력 누설이 되지 않도록 최고의 안전성을 고려하여 개발된 제품입니다.
★ 특히 독성 가스, 발화성 가스, 고부식성 가스 등으로 인해 다이아후렘이 파열되는 것으로부터 보호하는데 유용합니다.
★ 입구 압력은 3000psig (210bar) or 600psig (42bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psig (0.3bar)에서 최대 250psig (17bar)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험과 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 작업이 이루어집니다.

★ Springless type Regulator: By adopting the “flat- wave-shaped ring spring” (DRASTAR patent #10-1191514) instead of conventional spring, particle generation by spring itself due to fatigue from long-time use can be kept down
★ To use more suitably for corrosive gas applications, 316L VAR (double melt) available as optional
★ Tied-diaphragm design for positive shut-off and protecting the rupture of diaphragm
★ Surfaces finishes to B.A. 25Ra, E.P. 10 Ra or E.P. 5 Ra microinch
★ Push and lock type handle (DRASTAR patent #10-1086199) mounted
★ Threadless type: enhanced particle prevention by adopting the locking-plate seal system (DRASTAR patent #10-0753280)
★ All works of welding, assembly, test and cleaning are performed in class 100 and class 10 clean-rooms
★ Design proof pressure: 150% of maximum rated
★ Applicable for Semiconductor manufacturing gas line, toxic gases, pyrophoric gases, and high corrosive gases

※ 사용 중 가스라인이나 외부의 미세 진동 등으로 인하여 초기 압력 셋팅 값이 미세하게 변동하는 현상을 완전히 해결한 당사 Push and Lock 조절 손잡이 (당사 특허 # 10-1370537)를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 (lock) 압력 셋팅 값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 (unlock) 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.

Ordering Information.

DRA300

025

BASIS
SERIES
NUMBER

BODY
MATERIAL

OUTLET
PRESSURE
RANGE

DIAPHRAGM
MATERIAL

MAX.
INLET
PRESSURE

DRA300

A = 316L B.A --------- 25Ra

B = 316L E.P ---------- 10Ra

C = 316L E.P(P.E.P)---- 5Ra

D = 316L E.P VAR ------ 10Ra

E = 316L E.P VAR(P.E.P) -5Ra

025 = 1-25psi

(.1-1.7bar)

050 = 1-50psi

(.1-3.5bar)

100 = 1-100psi

(.1-7bar)

130 = 1-130psi

(.2-9bar)

150 = 1-150psi

(.2-10.3bar)

250 = 1-250psi

(.2-17bar)

S = STS 316L

H = Hastelloy-C

H = 3000psi (210bar)

L = 600psi(42bar)

4MS

G0S

SEAT
MATERIAL

FLOW
CAPACITY

INLET
OUTLET
PORTS SIZE
Type "A" ± 1.0mm

GAUGE
PORTS
OPTIONS
Gauge Ports

P = PCTFE

T = Teflon

V = Vespel

S = Cv 0.06

1/4" Standard

O = Cv 0.2

1/4" Optional

S = Cv 0.2

3/8" Standard

S = Cv 0.5

1/2" Standard

O = Cv 1.0

1/2" Optional

S = Cv 1.2

3/4" Standard

4HP = 1/4" H.P.I.C

4MS = 1/4" Male Swivel ---- 94mm
4FS = 1/4" Female Swivel -- 94mm
4FL = 1/4" Female Swivel -- 114mm
4ML = 1/4" Male Swivel ---- 114mm

8MS = 3/8" Male Swivel ---- 120mm
8FS = 3/8" Female Swivel -- 120mm

2MS = 1/2" Male Swivel ---- 140mm
2FS = 1/2" Female Swivel -- 140mm
2ML = 1/2" Male Swivel ---- 180mm
2FL = 1/2" Female Swivel -- 180mm

3MS = 3/4" Male Swivel ---- 160mm
3FS = 3/4" Female Swivel -- 160mm

4IMF = In 1/4" Male
          Out 1/4" Female ----- 94mm
4IFM = In 1/4" Female
          Out 1/4" Male ------- 94mm

2IMF = In 1/2" Male
          Out 1/2" Female ----- 140mm
2IFM = In 1/2" Female
          Out 1/2" Male ------- 140mm
2IMFL = In 1/2" Male
          Out 1/2" Female ----- 180mm
2IFML = In 1/2" Female
          Out 1/2" Male ------- 180mm

4TS = 1/4" Tube Stubs ---- 94mm
8TS = 3/8" Tube Stubs ---- 94mm
2TS = 1/2" Tube Stubs ---- 120mm
~~3TS = 3/4" Tube Stubs ---- 160mm~~

G0S = None -------------- 0

G1S = 1/4" H.P.I.C ------ 1

G2S = 1/4" H.P.I.C ------ 2

~~G2B = 1/4" H.P.I.C ------ 2~~

M1S = 1/4" Male Swivel -- 1

M2S = 1/4" Male Swivel -- 2

~~M2B = 1/4" Male Swivel -- 2~~

F1S = 1/4" Femle Swivel -- 1

F2S = 1/4" Femle Swivel -- 2

~~F2B = 1/4" Femle Swivel -- 2~~

Specification

Ports	DRA300-A100S-xxx-4MS-GxS 1/4" Male DRA300-A100S-xxx-4FS-GxS 1/4" Female DRA300-A100S-xxx-8MS-GxS 3/8" Male DRA300-A100S-xxx-8FS-GxS 3/8" Female DRA300-A100S-xxx-2MS-GxS 1/2" Male DRA300-A100S-xxx-2FS-GxS 1/2" Female DRA300-A100S-xxx-3MS-GxS 3/4" Male DRA300-A100S-xxx-3FS-GxS 3/4" Female
Design Pressure	150% maximun rated
Leak Rate Certification	to 1 x 10 ^-9 atm cc/sec Helium available.
Body Materials	DRA300-A100x-xxx-xxS-GxS 316L B.A ------------------- 25Ra DRA300-B100x-xxx-xxS-GxS 316L E.P ------------------- 10Ra DRA300-C100x-xxx-xxS-GxS 316L E.P(P.E.P) ------------- 5Ra DRA300-D100x-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P --------------- 10Ra DRA300-E100x-xxx-xxS-GxS 316L VAR E.P(P.E.P) --------- 5Ra
Bonnet Material	Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional)
Diaphragm	DRA300-x100S-xxx-xxS-GxS STS 316L DRA300-x100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C
Main Valve	DRA300-A100S-xxx-xxS-GxS Stainless steel 316L Standard DRA300-B100H-xxx-xxS-GxS Hastelloy-C Optional
Valve Spring
Valve Seat	DRA300-B100S-xPx-xxS-GxS PCTFE DRA300-B100S-xTx-xxS-GxS Teflon DRA300-B100S-xVx-xxS-GxS Vespel
Inlet Pressure Ranges	DRA300-A100S-Hxx-xxS-GxS 3000psi(210bar) DRA300-A100S-Lxx-xxS-GxS 600psi(42bar)
Outlet Pressure Ranges	DRA300-x025x-xxS-xMS-GxS 25psi(1.7bar) DRA300-x050x-xxS-xMS-GxS 50psi(3.4bar) DRA300-x100x-xxS-xMS-GxS 100psi(7bar) DRA300-x250x-xxS-xMS-GxS 250psi(17bar)
Operating Temperature	PCTFE -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F) Teflon -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Vespel -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)
Flow Capacity	DRA300-x100x-xxxS-4MS-GxS 1/4" Cv=0.06 DRA300-x100x-xxxO-4MS-GxS 1/4" Cv=0.2 DRA300-x100x-xxxS-8MS-GxS 3/8" Cv=0.2 DRA300-x100x-xxxS-2MS-GxS 1/2" Cv=0.5 DRA300-x100x-xxxO-2MS-GxS 1/2" Cv=1.2 DRA300-x100x-xxxS-3MS-GxS 3/4" Cv=1.2

권장사항 :

각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 동작과 제품의 수명 연장을 위해서는 모델에 따라 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.

[ Unit conversion program ]

	unit	unit conversion
atmosphere	atm
bar	bar
mbar	mbar
kg_f/cm^2	kg_f/cm^2
Pound per Squire Inch	PSI (= lb/in^2)
dyne per square centimeter	dyne/cm^2

Pascal	Pa
Newton per square meter	N/m^2
Hecto Pascal	hPa
Kilo Pascal	kPa
Mega Pascal	MPa

수주(水柱)밀리미터	mm H_2O (= mm Aq)
수주(水柱)인치	in H_2O (= in Aq)
수은주(水銀柱)밀리미터	mm Hg (= Torr)
수은주(水銀柱)인치	in Hg