Semiconductor(UHP)(주)드라스타

DRA77 (Relief / Back Pressure)

UHP VCR Back Pressure Reducing Regulator

Products Feature

UHP Relief / Back Pressure VCR Type (1/4")

DRA77 시리즈는 초 고순도 반도체 제조라인, 특수 가스 라인, Bulk Gas Line, 기타 설비 라인 등에 적합하도록 개발된 저압용 UHP VCR Type Relief / Back Pressure Reducing regulator 입니다.

★ 내부 표면을 B.A. 25Ra, E.P. 10Ra, 또는 5Ra microinch까지 처리하여 반도체 생산라인 등에 적합합니다
★ 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택 사용 할 수 있습니다.
★ 조절압력은 모델에 따라 0.3bar(5psig)에서 최대 20bar (290psig)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.

★ 사용 중 가스라인의 미세 진동 또는 외부적 요인등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 당사 특허 10-1370537 Push and Lock 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.

Ordering Information.

DRA77

002

BASIS
SERIES
NUMBER

BODY MATERIAL &
SURFACE FINISH

OUTLET
PRESSURE
RANGE

DIAPHRAGM
MATERIAL

PRESSURE
RANGES

DRA77

A = 316L B.A -------------- 25Ra

B = 316L E.P -------------- 10Ra

C = 316L E.P(P.E.P) ------- 5Ra

D = 316L VAR E.P ---------- 10Ra

E = 316L VAR E.P(P.E.P)---- 5Ra

002 = .1~2bar (1-29psi)

005 = .1~5bar (1-72psi)

010 = .1~10ar (1-145psi)

020 = .1~20bar (1-290psi)

S = STS 316L

H = Hastelloy-C

L = Low Pressure

4HP

G0S

SEAT MATERIAL	FLOW CAPACITY	INLET OUTLET PORTS SIZE Type "A" ± 1.0mm	GAUGE PORTS OPTIONS Gauge Ports
P = PCTFE T = Teflon V = Vespel	S = Cv 0.2	4HP = 1/4" H.P.I.C 4FS = 1/4" Female Swivel ---- 94mm 4MS = 1/4" Male Swivel -- 94mm 4FL = 1/4" Female Swivel -- 114mm 4ML = 1/4" Male Swivel ---- 114mm	G0S = None ------------- 0 G1S = 1/4" H.P.I.C ------- 1 G2S = 1/4" H.P.I.C ------- 2 M1S = 1/4" Male Swivel -- 1 M2S = 1/4" Male Swivel -- 2 F1S = 1/4" Femle Swivel -- 1 F2S = 1/4" Femle Swivel -- 2

Specification

Ports	DRA77-A002S-xxx-4HP-GxS 1/4" Female (H.P.I.C) DRA77-A002S-xxx-4FS-GxS 1/4" Female DRA77-A002S-xxx-4MS-GxS 1/4" Male
Design Pressure	150% maximum rated
Leak Rate Certification	to 1 x 10 ^-9 atm cc/sec Helium available.
Body Materials	DRA77-A002x-xxx-xHPGxS 316L B.A ------------------ 25Ra DRA77-B002x-xxx-xHP-GxS 316L E.P ------------------ 10Ra DRA77-C002x-xxx-xHP-GxS 316L E.P(P.E.P) ------------5Ra DRA77-D002x-xxx-xHP-GxS 316L VAR E.P ---------------10Ra DRA77-E002x-xxx-xHP-GxS 316L VAR(P.E.P) ------------ 5Ra
Bonnet Material	Nickel Plated Brass (Stainless steel 316L Optional)
Diaphragm	DRA77-x002S-xxx-xHP-GxS STS 316L DRA77-x002H-xxx-xHP-GxS Hastelloy-C22
Main Valve	DRA77-B002S-xxx-xHP-GxS Stainless steel 316L Standard DRA77-B002H-xxx-xHP-GxS Hastelloy-C22 Optional
Valve Spring	DRA77-B002S-xxx-xHP-GxS Stainless steel 316L Standard DRA77-B002H-xxx-xHP-GxS Hastelloy-C22 Optional
Valve Seat	DRA77-B002S-xPx-xHP-GxS PCTFE DRA77-B002S-xTx-xHP-GxS Teflon DRA77-B002S-xVx-xHP-GxS Vespel
Pressure Ranges	DRA77-B000S-Lxx-xHP-GxS 2bar ~ 20bar (29psi ~ 290psi)
Outlet Pressure Ranges	DRA77-x002x-xxS-xHP-GxS 2bar (29psi) DRA77-x005x-xxS-xHP-GxS 5bar (72psi) DRA77-x010x-xxS-xHP-GxS 10bar (100psi) DRA77-x020x-xxS-xHP-GxS 20bar (290psi)
Operating Temperature	PCTFE -40°C ~ +60°C (-40°F ~ +140°F) Teflon -40°C ~ +70°C (-40°F ~ +165°F) Vespel -40°C ~ +170°C (-40°F ~ +350°F)
Flow Capacity	DRA77-B002x-xxS-4HP-GxS Cv=0.2 Standard

권장사항 :

각 제품들은 최고의 안전성과 쉬운 조작성을 고려하여 제작되었습니다. 그러나 가장 안전하고 효율적인 Regulator 사용을 위해서는 실제 사용 압력을 각각 모델의 사용 압력에 25% ~ 75% 이내에서 사용하면 가장 이상적인 압력을 사용할 수 있습니다, 정밀하고 원활한 작동과 제품의 수명 연장을 위해서는 각 모델의 사용 범위 내에서 사용하기를 적극 권장합니다.